感應加熱銥坩埚提拉法激光晶體生長裝置

　　本实用新型公开了一种感應加熱銥坩埚提拉法激光晶體生長裝置，属于激光晶体结晶工艺学土地；包括底部的陶瓷托盤和墊板，陶瓷托盤上設有陶瓷保溫筒，陶瓷保溫筒外側設有感應線圈，陶瓷保溫筒內側設有ZrO₂保溫磚，墊板上面設有銥坩埚，且銥坩埚位于ZrO₂保溫磚的內側，銥坩埚內裝有熔體，陶瓷保溫筒和ZrO₂保溫磚上端設有帶有觀察口的上保溫筒和陶瓷觀察擋板，且陶瓷觀察擋板位于上保溫筒觀察口的外側，銥坩埚上方設有籽晶杆，籽晶杆下端裝有籽晶，籽晶下端位于熔體的上方，且籽晶杆、籽晶均位于上保溫筒的內側；本實用新型具有結構簡單、溫場穩定、裝調便宜、銥坩埚揮發輕、銥坩埚外表不受汙染、使用壽命長等優點，並且相對投入小、功率低、生長成本低。

目前感應加熱銥坩埚提拉法激光晶體生長裝置，一是在側保溫系統上，幾

乎都采用在銥坩埚周圍使用Zr02砂，這種結構銥坩埚揮發嚴重、並且銥坩埚外表面汙染也很嚴重，降低了銥坩埚的使用壽命；二是在銥坩埚的上面采用銥環，無形增加了晶體的生長成本；三是裝調很不便宜實用新型內容

本實用新型的目的在于：提供一種感應加熱銥坩埚提拉法激光晶體生長裝置，它很好地解决了目前感應加熱銥坩埚提拉法激光晶體生長裝置中存在的铱坩埚揮發嚴重、外表汙染嚴重，銥坩埚使用壽命短，成本高，裝調不便宜等弊病。

本實用新型的技術方案是：一种感應加熱銥坩埚提拉法激光晶體生長裝置，包括底部的陶瓷托盤和墊板，陶瓷托盤上設有陶瓷保溫筒，陶瓷保溫筒外側設有感應線圈，陶瓷保溫筒內側設有Zr02保溫磚，墊板上面設有銥坩埚，且銥坩埚位于Zr02保溫磚的內側，銥坩埚內裝有熔體，陶瓷保溫筒和Zr02保溫磚上端設有帶有觀察口的上保溫筒和陶瓷觀察擋板，且陶瓷觀察擋板位于上保溫筒觀察口的外側，銥坩埚上方設有籽晶杆，籽晶杆下端裝有籽晶，籽晶下端位于熔體的上方，且籽晶杆、籽晶均位于上保溫筒的內側。

本實用新型在使用時，下降籽晶與銥坩埚內的熔體接觸，通過向上提拉、旋轉籽晶，調整加熱功率，就可不斷生長出晶體。

本實用新型的有益结果是：結構簡單、溫場穩定、裝調便宜、銥坩埚揮發輕、銥坩埚外表不受汙染、使用壽命長等優點，並且相對投入小、功率低、生長成本低。