鉑測溫電阻元件的制造方法

　對于钿測溫電阻元件，一般是將鈾電阻線作成螺旋狀而後封入陶瓷等絕緣子中而获得的元件，或者是形成鉑電阻膜而後裝入玻璃等封住的元件等。具體地，通過將作成螺旋狀的鉑電阻線彎折成u字形，插入到具有多個縱孔的圓柱狀的保全體的縱孔而後拉出，將螺旋狀的部分保全在縱孔內，同時在保全體的一端面塗覆釉料，暫時堵住鉑電阻線，接著在各縱孔填充絕緣用粉體，然後，在保全體的另一端面也塗覆釉料，在爐內加熱密封，進行制造。作爲形成鉑電阻膜而構成的元件，使用噴濺或者電子束裝置在氧化鋁基板形成鉑薄膜，同時塗覆抗蝕劑，使用具有規定的圖案的掩模進行曝光'顯影，取消不需要的抗蝕劑，然後，采用幹刻或者濕刻取消圖案以外的鉑薄膜，取消抗蝕劑，形成規定圖案的鉑電阻膜，覆蓋形成玻璃等保護膜，获得薄膜型鉑測溫電阻元件。

通常，制作這些鉑測溫電阻元件時，在爐內對鉑電阻線或者鉑電阻膜進行退火之後，用釉料或玻璃等的玻璃料進行密封，但爲了预防鉑電阻線或者鉑電阻膜的汙染，在爐內氩85%-氧15%等的有意識地添加氧的混合氣體被淨化。該淨化氣中的少量的氧爲了保護鉑電阻線或電阻膜不受汙染而存在，其含量沒有明確的基准。然而，含有該氧的淨化氣在密封時殘留在上述保全體或鉑電阻膜和保護膜之間，通過鉑電阻線或電阻膜被氧化，而産生電阻值的變化。

對由該鉑的氧化引起的電阻值的不確定，以前沒有任何的討論，在精密的溫度測定中産生不能無視的電阻值變化。這是由于不清楚鉑電阻線的氧化'還原的定量的電阻值變化的機理，對于在制造中的爐內的淨化氣中的氧濃度引起的鉑電阻線的變化缺少認識。

本發明闡明白鉑電阻線的氧化還原的定量的電阻值變化的機理，通過應用該機理，可以提供用于获得在使用溫度區域電阻值變化少、穩定的鉑測溫電阻元件的制造方法，該制造方法具備：工序S1，制作在密封部塗覆了釉料的狀態的感溫部；工序S2，將密封前的元件放置在托盤(4)中，插入腔室(2)內；工序S3，在腔室(2)內封入含有惰性氣體和氧的淨化氣；工序S4，將腔室內部溫度飞腾到由鉑的氧化物生成自由能求得的所述淨化氣中的氧分壓下的還原區域；工序S5，將淨化氣置換成氧在1kPa以下的惰性氣體；工序S6，在該置換了的狀態下，用燈加熱裝置(6)急速加熱，使爐內(腔室(2)內)達到玻璃料熔融溫度，密封感溫部的密封部。